基于最小二乘支持向量回归的划片刀刃长控制优化

发布时间：2024-02-03 22:38

　　划片刀的刀刃长度影响划片刀的使用性能,而刀刃出露是控制刀刃长度的关键工序。在连续生产中一次腐蚀多片,刀刃长度存在波动。针对此问题,以子组划片刀刃长极差为响应,以溶液温度、溶液浓度、工件旋转速度为影响因子,选择正交试验设计方式获取试验点并得到样本集,再用最小二乘支持向量回归法建立模型,最后用粒子群算法对所建模型进行寻优,获得优化后的工艺参数。试验表明:该方法对降低划片刀生产中刃长波动性有显著效果,试验结果与建模寻优结果的划片刀刃长极差仅相差2.1μm。

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【部分图文】：

图2划片刀生产工艺流程图

在划片刀生产工艺流程(图2)中,刀刃出露是控制刀刃长度的关键工序,且在连续生产中需要一次生产多片,片与片之间的刀刃长度存在波动性。因此,在相同工艺条件下,从批量生产的刀刃长度稳定性角度考虑,将刀刃出露工序的划片刀刃长极差作为响应,选取影响划片刀刃长控制的3个工艺参数作为影响因子进....

图1划片刀结构图

划片刀是集成电路、分立器件等半导体晶圆制造过程中进行切割与开槽的重要工具,主要由铝轮毂和刀刃等2部分组成,其中由金刚石磨料和镍基结合剂构成的刀刃是进行划切工作的主要部分,如图1所示。刀刃长度直接影响划片刀的使用性能:刀刃过长会导致刚度变差而引起切割缝蛇形弯曲;刀刃过短会导致使用寿....

本文编号：3894807