大口径纯钨药型罩CVD制备工艺控制与破甲特性研究

发布时间：2024-03-09 18:23

　　钨具有高密度(19.3 g/cm³)、适中声速(4.03 km/s)以及良好的延展性等特点,被研究学者广泛视为极具发展前景的药型罩材料。本课题组前期采用CVD方法制备获得小口径纯钨药型罩,并在静破甲试验中获得较好的穿深,同时分析了纯钨药型罩的破甲特性及破甲机理。在此基础上,本文采用CVD方法制备大口径纯钨药型罩,但实际沉积过程中发现CVD设备故障和沉积工艺选择的不合理,导致获得的药型罩表面质量粗糙,组织晶粒粗大,药型罩破甲威力显著降低。为了优化药型罩组织,探究大口径药型罩破甲特性,提高药型罩破甲威力,本文通过改进自制CVD设备、调控沉积工艺,制备获得了晶粒细化的大口径纯钨药型罩;通过静破甲试验和静破甲试验后对弹道特征及靶板微观组织的分析,对大口径纯钨药型罩破甲特性和破甲机理进行了探讨;通过对静破甲试验后回收杵体的形貌和微观组织进行分析,研究了纯钨在爆炸加载条件下的变形机制。根据大口径纯钨药型罩CVD制备的沉积要求,本文对沉积过程中出现的管路堵塞、药型罩表面粗糙和药型罩壁厚不均问题进行了改进:通过简化管路,使用密封性更佳的手动阀门代替单向阀,解决了沉积过程中管路堵塞...

【文章页数】：69 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图1-1射流形成过程示意图

爆药柱、药型罩、炸药装药(主、副)、隔板等，它的破甲威力通常以破甲率度以及破甲后效来评定[1,2]。药型罩是破甲战斗部的核心部件，药型罩的表面均匀性、组织特征对破甲战斗部的破甲威力具有重要影响，因此国内外学者材料选择及制备工艺进行了深入研究。1药型罩材料研究1.1影响药型罩性....

图1-3沉积反应速率与沉积温度、反应气体配比的关系

-3沉积反应速率与沉积温度、反应气体配比的量响反应物向生长表面的输运速率，可引起材气体流量过大，一方面导致原料浪费，尾气于沉积室内，反应物反应速率超过了沉积物致气相形核，从而降低沉积层质量。气体流积效率，使反应无法充分进行。型罩的沉积设备及沉积工艺研究莫尔国家实验室成功制备了直....

图2-2化学气相沉积过程反应步骤示意图

图2-2化学气相沉积过程反应步骤示意图图2-3CVD沉积设备示意图完成物质输运的唯一通道。反应气体H2和WF6进入物排放到尾气处理装置的过程都是通过输气管路完成路出现两处堵塞，一方面WF6进气端的管路较长（见

图2-3CVD沉积设备示意图

14图2-3CVD沉积设备示意图气管路是完成物质输运的唯一通道。反应气体H2和WF6进入沉积室的反应废弃物排放到尾气处理装置的过程都是通过输气管路完成的。在实，通气管路出现两处堵塞，一方面WF6进气端的管路较长（见图2-3），使得反应气体的入气量逐渐减少，最终无法完....

本文编号：3923754