LaFeO 3 /ZnO电阻与电位型气体传感器的制作及性能研究

发布时间：2024-03-25 22:52

　　随着科技的进步和社会的发展,科学技术在带给人们便利的同时也给我们的生活环境造成了污染。尤其是近年来,由于工业废气和汽车尾气的大量排放,不可避免的造成了大气污染；此外,随着物联网概念的提出和智能家居的出现,人们对室内由于挥发性气体造成的室内空气污染问题也更加关心。因此,制造出高性能低功耗的气体传感器应用于室内空气检测和特殊场合的气体检测是气体传感器领域的研究重点。在本论文中我们分别制作了以ZnO和LaFeO₃为敏感材料的电阻型传感器,和以YSZ纳米纤维作为固体电解质材料,以ZnO和LaFeO₃分别作为敏感电极和参考电极制作出ZnO|YSZ|LaFeO₃混合电位型气体传感器。通过对敏感材料、电解质材料等进行微观形貌改造,研究他们的电阻型和电位型传感器的气敏性能,以期达到性能增益的目的。主要研究内容分为以下三部分：1.采用化学气相沉积(CVD)法制备了ZnO纳米颗粒,并采用X射线衍射仪(XRD)、场发射电子显微镜(FE-SEM)和透射电子显微镜(TEM)对材料进行了表征。采用比表面及孔径分析仪测定了ZnO纳米颗粒的比表面积和孔...

【文章页数】：53 页

【学位级别】：硕士

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摘要
Abstract
第1章 绪论
    1.1 引言
    1.2 气体传感器概述
        1.2.1 气体传感器研究现状及发展趋势
        1.2.2 气体传感器分类
        1.2.3 气体传感器工作原理
    1.3 功能材料
        1.3.1 敏感功能材料概述
        1.3.2 金属氧化物半导体简介
    1.4 气敏材料制备及表征设备
        1.4.1 气敏材料制备方法
        1.4.2 材料性能表征分析设备
    1.5 本论文的主要工作
第2章 ZnO纳米颗粒乙醇传感器的制作及性能研究
    2.1 引言
    2.2 ZnO纳米颗粒的制备及表征
        2.2.1 ZnO纳米颗粒的制备
        2.2.2 ZnO纳米颗粒的表征
    2.3 ZnO纳米颗粒气体传感器的制作及性能测试
        2.3.1 ZnO纳米颗粒气体传感器的制作及老化
        2.3.2 ZnO纳米颗粒气体传感器性能分析
    2.4 ZnO纳米颗粒的气敏特性机理研究
    2.5 本章小结
第3章 LaFeO₃颗粒甲醛传感器的制作及性能研究
    3.1 引言
    3.2 LaFeO₃颗粒的制备、表征及器件制作
        3.2.1 LaFeO₃颗粒材料的制备
        3.2.2 LaFeO₃颗粒材料的表征
        3.2.3 LaFeO₃颗粒甲醛传感器的制作及老化
    3.3 LaFeO₃颗粒甲醛传感器的气敏性能分析
    3.4 LaFeO₃对甲醛的气敏机理分析
    3.5 本章小结
第4章 ZnO|YSZ|LaFeO₃混合电位型气体传感器制作及性能测试
    4.1 引言
    4.2 YSZ与电极材料的制备及表征
        4.2.1 YSZ纳米纤维的制备
        4.2.2 YSZ纳米纤维的表征
        4.2.3 ZnO材料的制备与表征
        4.2.4 LaFeO₃材料的制备与表征
    4.3 ZnO|YSZ|LaFeO₃传感器制作及性能测试
        4.3.1 器件制作流程
        4.3.2 气敏性能测试
    4.4 ZnO|YSZ|LaFeO₃传感器气敏机理分析
    4.5 本章小结
第5章 总结与展望
    5.1 论文总结
    5.2 工作展望
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间发表论文情况



本文编号：3938967