基于扫描近场微波显微镜系统的成像研究

发布时间：2024-01-14 12:22

　　微观世界的成像技术是研究材料结构和特性的最直接和最有效的方法,其技术的创新发展与物理学、化学、生物技术和其他领域的发展密切相关。近年来,随着集成电路和纳米科学技术的飞速发展,需要发明更先进的检测仪器来检测微观结构材料的成膜质量、电磁参数分布等重要属性。另外,在基础生物学研究领域,必须通过高分辨率生物学成像方法获得有关生物系统动态变化的信息,以便准确了解生物体的内部机制。与远场显微术对比,近场显微术突破了阿贝衍射极限,可以分辨尺寸小于二分之一波长以下的物质,分辨率大大提高。另外微波具有穿透性,能够检测物体表面及更深层次的信息。因此近场扫描微波显微镜系统倍受工业界的重视,随着该系统的研究突破与发展,它在半导体集成技术、生命科学领域的成像应用得到认可。但是该系统的成像策略存在一些缺点,最大的问题是由于样品台或样品本身微弱且无法分辨的倾斜,给全局扫描参数带来倾斜误差,导致其成像的图像因水平倾斜一定的角度而失真;另外系统装置的机械噪声引起信号的噪声,导致成像图像存在噪点。因此,随着扫描近场微波显微镜往更高分辨率领域发展,迫切需要提出一些修正方法来解决其成像失真的问题。本文在近场扫描微波显微镜系统...

【文章页数】：86 页

【学位级别】：硕士

本文编号：3878220