基于气体润滑静压工作台的若干关键技术.pdf

  本文关键词：基于气体润滑静压工作台的若干关键技术，由笔耕文化传播整理发布。

天津大学 硕士学位论文 基于气体润滑静压工作台的若干关键技术 姓名：王占彬 申请学位级别：硕士 专业：机械制造及其自动化 指导教师：林彬 座机电话号码 中文摘要 超精密微位移工作台系统在现代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为 重要的地位。高精度和高分辨率的精密微位移工作台系统的各项技术指标是各国 高技术发展水平的重要标志。本实验室已经针对工作台在先进结构材料、多孔质 气体润滑技术以及直接驱动技术等关键技术方面进行了较为深入的研究，为研制 出性能均衡，适合工业环境应用的大行程超精密工作台打下坚实的基础。本次课 题的研究目的是实现空气静压工作台关键技术的实用化。通过对工作台结构设计 方面的调研和论证，对气体静压支承的数值计算分析、对导轨的精度设计进行的 讨论，旨在为掌握空气静压工作台的关键技术，具备研制工作台的能力做些前期 的准备工作。 本文的研究重点放在空气静压工作台的实用化设计方面，并为掌握其加工生 产的关键技术做了许多认证，为今后早日实现工作台批量生产做了大量实质性的 工作。本文结合实验室前面的工作及课题的实际情况，主要进行空气静压工作台 结构设计方面的调研和论证，空气静压气浮支承的理论计算，以及导轨精度分析。 文中初步完成了工作台整体结构布局方面的设计：工作台整体采用二维形 式，水平布置；工作台上层采用一个直线电机驱动，下层采用两侧双直线电机驱 动；工作台静导轨采用花岗岩大理石材料，动导轨采用铝合金材料；工作台的气 体支撑技术采用真空负压吸附式设计，可以获得高刚度。另外还针对工作台的实 用化总结了若干需要注意的

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