狭缝光学天线对的近场耦合及其在纳米位移测量中的应用

发布时间：2024-02-20 06:37

　　<正>纳米精度的位移测量对于微纳加工、精密控制、半导体器件等领域都具有重要的意义。光学测距具有精度高、非接触的优点,一直是光学计量领域的重要研究方向。常见的光学测距一般利用光学干涉进行纵向距离的测量,横向高精度纳米位移测量仍然是一个亟待研究的问题。在这个报告中,首先介绍了基于纳米结构散射的横向高精度位移测量的研究状况,然后着重介绍

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本文编号：3903997